Speaker Information: Dr. Hubert Lettenbauer

Durch Megatrends wie KI und Digitalisierung besitzt das Moore’sche Gesetz in der Halbleiterproduktion weiterhin seine Gültigkeit: Die Forderung nach immer kleineren Strukturen bei gleichzeitig höchsten Qualitätsanforderungen macht flächendeckende Prozesskontrolle unerlässlich. Längst stößt man inzwischen an die Grenzen des physikalisch Machbaren, was die beteiligten Firmen vor höchste Herausforderungen und Risiken stellt. Der vorliegende Beitrag möchte einen Einblick in die dort zur Anwendung kommenden Prozesse und Technologien geben.